Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Метрология и измерения в целом *Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. *Величины и единицы измерений см. 01.060 *Химические эталонные материалы см. 71.040.30
ГОСТ Р 8.627-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения. Методика выполнения измерений
Настоящий стандарт распространяется на методику выполнения измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне вакуумного ультрафиолетового излучения, используемых для определения оптических констант материалов и тонких пленок, коэффициентов отражения зеркал и эффективности дифракционных решеток, а также при контроле технологических процессов в микроэлектронике
| Название на англ.: | State system for еnsuring the uniformity of measurements. Measurements of coefficients of regular and diffuse transmittance of ultraviolet radiation. Methods for measurements |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Число страниц: | 8 |
| Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
| Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
| Дата издания: | 24.04.2007 |
| Дата введения в действие: | 01.07.2007 |
| Дата последнего изменения: | 23.06.2009 |
